一、微型热式气体质量流量计产品简介

微型气体质量流量计是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列的传感器均采用先进的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用

于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径，成本低，易安装，不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。

二、微型热式气体质量流量计产品特点

★ 采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片，传感器具有高精度，高灵敏度，抗干扰性强等特点。

★ 传感器的零点稳定。

★ 量程范围内精度高，重复性好。

★ 标准机械接口，安装方便。

★ RS485通讯输出，标准MODBUS RTU协议。

★ 采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便。

★ 可以选配4~20mA标准电流信号输出和脉冲输出。

三、微型热式气体质量流量计技术参数

备注：以上数据为在25℃，101.32kPa,干燥空气下测得

zui小可测流量：0.3NL/min

zui大可测流量：3000NL/min

四、微型热式气体质量流量计机械尺寸

如果需要更大流量，可定制。

根据需要可使用标准接头进行接口转换

五、微型热式气体质量流量计安装方式

a = 前直管段 b = 后直管段

尽量将控制阀及缓冲切断阀安装在热式气体质量流量计后面。

六、微型热式气体质量流量计接线说明